Afm precision measurement method for three-dimensional structure of independent nanostructure, nanostructure scanning device having plurality of afm probes and scanning method using same

WO2016129791 Art A1 18. August 2016

Anmelder: Korea Advanced Institute of Science and Technology 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016129791
Aktenzeichen: EP15882153
Anmeldetag: 30. November 2015
Veröffentlichung: 18. August 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G01Q10/04G01Q60/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Korea Advanced Institute of Science and Technology
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 KAIST

Südkoreanische technische Universität und Forschungsinstitution mit Fokus auf Ingenieurwissenschaften, Naturwissenschaften und Technologieentwicklung, unter anderem in Robotik und Elektronik.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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