Hard-mask composition comprising solution processable carbon allotropes, method for manufacturing hard-mask using same, and hard-mask
WO2016129927
Art A1
18. August 2016
Anmelder: Pusan National University Industry - University Cooperation Foundation 🇰🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016129927
- Aktenzeichen
- EP16749467
- Anmeldetag
- 11. Februar 2016
- Veröffentlichung
- 18. August 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C08K3/04C08L101/00H01L21/02H01L21/033
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Pusan National University Industry - University Cooperation Foundation
- Land
- 🇰🇷 Südkorea
🇰🇷
Pusan National University Industry-University Cooperation Foundation
Die Pusan National University Industry-University Cooperation Foundation ist die Transfereinrichtung einer südkoreanischen staatlichen Universität. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik sowie Mess-, Halbleiter- und Kunststofftechnik, ergänzt durch organische Chemie. Die Anmeldungen von 2002 bis 2025 betreffen unter anderem Sensoren für Nanokunststoffe und Kristallzuchtverfahren.
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