Hard-mask composition comprising solution processable carbon allotropes, method for manufacturing hard-mask using same, and hard-mask

WO2016129927 Art A1 18. August 2016

Anmelder: Pusan National University Industry - University Cooperation Foundation 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016129927
Aktenzeichen
EP16749467
Anmeldetag
11. Februar 2016
Veröffentlichung
18. August 2016
Rechtsraum
WO
IPC
C08K3/04C08L101/00H01L21/02H01L21/033
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Pusan National University Industry - University Cooperation Foundation
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Pusan National University Industry-University Cooperation Foundation

Die Pusan National University Industry-University Cooperation Foundation ist die Transfereinrichtung einer südkoreanischen staatlichen Universität. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik sowie Mess-, Halbleiter- und Kunststofftechnik, ergänzt durch organische Chemie. Die Anmeldungen von 2002 bis 2025 betreffen unter anderem Sensoren für Nanokunststoffe und Kristallzuchtverfahren.

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