Self-Cleaning Substrate Contact Surfaces

WO2016130496 Art A1 18. August 2016

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016130496
Aktenzeichen: EP16749679
Anmeldetag: 9. Februar 2016
Veröffentlichung: 18. August 2016
Rechtsraum: WO
IPC: B08B11/00B08B6/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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