Improved Beam Pipe

WO2016131569 Art A1 25. August 2016

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016131569
Aktenzeichen: EP16700731
Anmeldetag: 15. Januar 2016
Veröffentlichung: 25. August 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H05H7/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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