Baugruppe eines Optischen Systems, insbesondere einer Mikrolithographischen Projektionsbelichtungsanlage

WO2016131758 Art A1 25. August 2016

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016131758
Aktenzeichen: EP16706558
Anmeldetag: 15. Februar 2016
Veröffentlichung: 25. August 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H04B5/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Nachrichtentechnik & Telekommunikation Optik & Fototechnik

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