Electrostatic chuck device, and semiconductor manufacturing device

WO2016132909 Art A1 25. August 2016

Anmelder: Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016132909
Aktenzeichen: EP16752296
Anmeldetag: 3. Februar 2016
Veröffentlichung: 25. August 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683H02N13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Osaka Cement

Sumitomo Osaka Cement ist ein japanisches Unternehmen, das neben klassischer Zementproduktion auch elektronische und optische Materialien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch anorganische Chemie und Werkstoffe. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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