Device manufacturing method and patterning devices for use in device manufacturing method

WO2016134954 Art A1 1. September 2016

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016134954
Aktenzeichen: EP16703299
Anmeldetag: 5. Februar 2016
Veröffentlichung: 1. September 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G06F17/50G03F1/70H01L21/033H01L21/311H01L21/768

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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