Pressure control device

WO2016136282 Art A1 1. September 2016

Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016136282
Aktenzeichen: EP16755032
Anmeldetag: 6. Januar 2016
Veröffentlichung: 1. September 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G05D16/20G05B11/36

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujikin Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Steuerungs- & Regelungstechnik

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