Optical system, optical device, and method for adjusting optical system

WO2016136878 Art A1 1. September 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016136878
Aktenzeichen
EP16755622
Anmeldetag
25. Februar 2016
Veröffentlichung
1. September 2016
Rechtsraum
WO
IPC
G02B13/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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