Radiation sensor apparatus

WO2016139022 Art A1 9. September 2016

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016139022
Aktenzeichen: EP16702422
Anmeldetag: 2. Februar 2016
Veröffentlichung: 9. September 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G01J1/58G01J1/42G03F7/20H01S3/13

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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