Sensor for film thickness monitoring device, film thickness monitoring device provided with same, and method for manufacturing sensor for film thickness monitoring device

WO2016140321 Art A1 9. September 2016

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016140321
Aktenzeichen: EP16759013
Anmeldetag: 3. März 2016
Veröffentlichung: 9. September 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G01N5/02C23C14/54G01B21/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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