Bonded semiconductor wafer and method for manufacturing bonded semiconductor wafer

WO2016143252 Art A1 15. September 2016

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016143252
Aktenzeichen
EP16761231
Anmeldetag
5. Februar 2016
Veröffentlichung
15. September 2016
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/02H01L21/322H01L27/12
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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