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WO2016143450 Art A1 15. September 2016

Anmelder: Ebara Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016143450
Aktenzeichen: EP16761422
Anmeldetag: 9. Februar 2016
Veröffentlichung: 15. September 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/073H01J37/20H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ebara Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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