Charged particle beam device and image forming method using same

WO2016143467 Art A1 15. September 2016

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016143467
Aktenzeichen: EP16761439
Anmeldetag: 16. Februar 2016
Veröffentlichung: 15. September 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/244G01N23/225H01J37/22H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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