Wafer carrier with replaceable getters
WO2016145338
Art A1
15. September 2016
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016145338
- Aktenzeichen
- EP16762617
- Anmeldetag
- 11. März 2016
- Veröffentlichung
- 15. September 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/673H01L21/677
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
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