Laser system and laser annealing device

WO2016147308 Art A1 22. September 2016

Anmelder: Kyushu University, Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016147308
Aktenzeichen: EP15885404
Anmeldetag: 16. März 2015
Veröffentlichung: 22. September 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/00H01L21/20H01L21/268H01S3/0975H01S3/23

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Kyushu University
Gigaphoton Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kyushu University

Kyushu University ist eine staatliche Universität in Fukuoka, Japan, mit Forschungsschwerpunkten in Natur- und Ingenieurwissenschaften.

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🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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