Method of evaluating semiconductor substrate and method of manufacturing semiconductor substrate

WO2016147510 Art A1 22. September 2016

Anmelder: SUMCO Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016147510
Aktenzeichen: EP15885602
Anmeldetag: 16. Dezember 2015
Veröffentlichung: 22. September 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01N21/64

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMCO Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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