Durch Aufheizen zu Reinigender Qcm-Sensor und dessen Verwendung in einem Ovpd-Beschichtungssystem
WO2016150735
Art A1
29. September 2016
Anmelder: Aixtron SE 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016150735
- Aktenzeichen
- EP16710421
- Anmeldetag
- 14. März 2016
- Veröffentlichung
- 29. September 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N29/02G01N29/036
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Aixtron SE
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Aixtron
Aixtron ist ein deutscher Hersteller von Depositionsanlagen für die Halbleiterindustrie. Der Patentbestand konzentriert sich auf Metallurgie und Oberflächentechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Verfahrens- und Messtechnik. Die Anmeldungen aus 2000 bis 2025 betreffen unter anderem die Reinigung und den Betrieb von CVD-Reaktoren.
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Vertreten von
Rieder, Hans-Joachim
Wuppertal, Deutschland
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