Verfahren zum Herstellen eines Reflektiven Optischen Elements und Reflektives Optisches Element

WO2016150757 Art A1 29. September 2016

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016150757
Aktenzeichen: EP16710152
Anmeldetag: 15. März 2016
Veröffentlichung: 29. September 2016
Rechtsraum: WO
IPC: C25D1/06C25D1/20C25D15/00G02B5/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Optik & Fototechnik

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