Charged particle beam device and sample observation method for charged particle beam device

WO2016151809 Art A1 29. September 2016

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016151809
Aktenzeichen: EP15886362
Anmeldetag: 25. März 2015
Veröffentlichung: 29. September 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/22H01J37/244H01J37/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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