Triode Type Ionization Vacuum Gauge

WO2016151997 Art A1 29. September 2016

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016151997
Aktenzeichen: EP16767910
Anmeldetag: 10. Februar 2016
Veröffentlichung: 29. September 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G01L21/32H01H41/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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