Light source device and exposure device
WO2016152359
Art A1
29. September 2016
Anmelder: Ushio Denki Kabushiki Kaisha 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016152359
- Aktenzeichen
- EP16768262
- Anmeldetag
- 23. Februar 2016
- Veröffentlichung
- 29. September 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G03F7/20G02B19/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Ushio Denki Kabushiki Kaisha
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Ushio Inc.
Japanischer Hersteller von Lichtquellen wie Speziallampen, Lasern und LED-Modulen für Industrie, Halbleiterfertigung und Optik mit Sitz in Tokio.
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Fachgebiete
Vertreten von
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