High-voltage pulse generating device and gas laser device

WO2016152738 Art A1 29. September 2016

Anmelder: National University Corporation Nagaoka University of Technology, Gigaphoton Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016152738
Aktenzeichen: EP16768641
Anmeldetag: 17. März 2016
Veröffentlichung: 29. September 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/097H02M9/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: National University Corporation Nagaoka University of Technology
Gigaphoton Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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