Beam scanning device, beam scanning method, and rendering device

WO2016152758 Art A1 29. September 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016152758
Aktenzeichen: EP16768661
Anmeldetag: 18. März 2016
Veröffentlichung: 29. September 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G02B26/12G03F7/20G03F7/24H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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