Method and system for charged particle microscopy with improved image beam stabilization and interrogation
WO2016154484
Art A1
29. September 2016
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016154484
- Aktenzeichen
- EP16769728
- Anmeldetag
- 24. März 2016
- Veröffentlichung
- 29. September 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01Q30/02G01N23/203G01Q30/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.