Verfahren zum Beschichten von Halbleiterscheiben

WO2016155915 Art A1 6. Oktober 2016

Anmelder: Siltronic AG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016155915
Aktenzeichen
EP16703482
Anmeldetag
3. Februar 2016
Veröffentlichung
6. Oktober 2016
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/44
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Siltronic AG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Siltronic

Deutscher Halbleiterzulieferer mit Sitz in München. Siltronic stellt hochreine Siliziumwafer für die Chip- und Elektronikindustrie her.

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