Film forming device and method for cleaning film forming device
WO2016157312
Art A1
6. Oktober 2016
Anmelder: Sakai Display Products Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016157312
- Aktenzeichen
- EP15887465
- Anmeldetag
- 27. März 2015
- Veröffentlichung
- 6. Oktober 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/205C23C16/44H01L21/02H01L21/3065H01L21/31
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Sakai Display Products Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Sakai Display Products
Sakai Display Products ist ein japanischer Hersteller von Flüssigkristallbildschirmen mit Sitz in Sakai. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Optik- und Fototechnik sowie Anzeige- und Signaltechnik, ergänzt um Halbleiterbauelemente. Anmeldungen liegen im Zeitraum 2013 bis 2021.
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