Light-exposure data creation method, manufacturing method, light-exposure data creation device, light-exposure data creation program, and manufacturing system

WO2016157611 Art A1 6. Oktober 2016

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016157611
Aktenzeichen: EP15887753
Anmeldetag: 25. November 2015
Veröffentlichung: 6. Oktober 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03F7/095G03F7/38G03F7/40

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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