Method for manufacturing cylindrical sputtering targets

WO2016158345 Art A1 6. Oktober 2016

Anmelder: Mitsubishi Materials Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016158345
Aktenzeichen
EP16772228
Anmeldetag
14. März 2016
Veröffentlichung
6. Oktober 2016
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Mitsubishi Materials Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Mitsubishi Materials

Japanisches Unternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Sitz in Tokio, tätig in der Verarbeitung von Metallen und Werkstoffen, unter anderem Kupfer, Zement, Hartmetallwerkzeuge und elektronische Materialien.

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