Through-silicon via forming production system, through-silicon via forming production method, storage medium, and program

WO2016158576 Art A1 6. Oktober 2016

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016158576
Aktenzeichen: EP16772457
Anmeldetag: 22. März 2016
Veröffentlichung: 6. Oktober 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G01N23/04G01B15/00G01B15/02G01B15/04G01N23/18G05B19/418

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von