Method for manufacturing filling planarization film and method for manufacturing electronic device

WO2016158697 Art A1 6. Oktober 2016

Anmelder: Mitsui Chemicals, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016158697
Aktenzeichen: EP16772578
Anmeldetag: 24. März 2016
Veröffentlichung: 6. Oktober 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/312H01L21/76

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Mitsui Chemicals, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsui Chemicals

Mitsui Chemicals ist ein japanischer Chemiekonzern mit Sitz in Tokio, der Basis- und Spezialchemikalien, Kunststoffe sowie Materialien für Elektronik und Mobilität herstellt. Das Unternehmen ging 1997 aus der Fusion mehrerer Mitsui-Chemieunternehmen hervor.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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