Treatment composition for chemical mechanical polishing, chemical mechanical polishing method and cleaning method

WO2016158795 Art A1 6. Oktober 2016

Anmelder: JSR Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016158795
Aktenzeichen: EP16772676
Anmeldetag: 25. März 2016
Veröffentlichung: 6. Oktober 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/304C11D7/22C11D7/26C11D7/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: JSR Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 JSR Corporation

JSR Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das synthetische Kautschuke sowie Materialien für die Halbleiter- und Displayindustrie herstellt.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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