Object conveyance apparatus, exposure apparatus, flat panel display production method, device production method, object conveyance method, and exposure method

WO2016159062 Art A1 6. Oktober 2016

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016159062
Aktenzeichen: EP16772943
Anmeldetag: 30. März 2016
Veröffentlichung: 6. Oktober 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20B65G49/06H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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