Use of chitosan or alginate as a transfer mask in lithography and transfer methods

WO2016162638 Art A1 13. Oktober 2016

Anmelder: Université Claude Bernard Lyon I, Centre National de la Recherche Scientifique CNRS, Ecole Centrale De Lyon, Institut National des Sciences Appliquées de Lyon, Université Jean Monnet de Saint-Etienne, Ecole Superieure De Chimie Physique Electronique De Lyon 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016162638
Aktenzeichen: EP16718435
Anmeldetag: 7. April 2016
Veröffentlichung: 13. Oktober 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/039

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Université Claude Bernard Lyon I
Centre National de la Recherche Scientifique CNRS
Ecole Centrale De Lyon
Institut National des Sciences Appliquées de Lyon
Université Jean Monnet de Saint-Etienne
Ecole Superieure De Chimie Physique Electronique De Lyon
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Französische staatliche Forschungsorganisation mit Sitz in Paris. Betreibt Grundlagen- und angewandte Forschung in nahezu allen wissenschaftlichen Disziplinen über zahlreiche Institute und Labore.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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