Polishing device

WO2016163063 Art A1 13. Oktober 2016

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016163063
Aktenzeichen
EP16776243
Anmeldetag
29. Februar 2016
Veröffentlichung
13. Oktober 2016
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/304B24B37/04B24B55/06H01L21/677
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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