Dry etching gas and dry etching method
WO2016163184
Art A1
13. Oktober 2016
Anmelder: Central Glass Company, Limited 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016163184
- Aktenzeichen
- EP16776353
- Anmeldetag
- 4. März 2016
- Veröffentlichung
- 13. Oktober 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/3065C09K13/08C07C17/383C07C21/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Central Glass Company, Limited
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Central Glass
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, das Flachglas, Spezialglas sowie Fluorchemikalien für Industrie und Bauwesen herstellt.
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