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WO2016163352 Art A1 13. Oktober 2016

Anmelder: Ebara Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016163352
Aktenzeichen: EP16776518
Anmeldetag: 5. April 2016
Veröffentlichung: 13. Oktober 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G01B11/06B24B37/013B24B49/04B24B49/12H01L21/304

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ebara Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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