Semiconductor wafer manufacturing method and semiconductor wafer evaluation method

WO2016163500 Art A1 13. Oktober 2016

Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016163500
Aktenzeichen: EP16776666
Anmeldetag: 8. April 2016
Veröffentlichung: 13. Oktober 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66H01L21/265

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMCO CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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