Method and system for determining in-plane distortions in a substrate
WO2016164415
Art A1
13. Oktober 2016
Anmelder: KLA - Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016164415
- Aktenzeichen
- EP16777170
- Anmeldetag
- 6. April 2016
- Veröffentlichung
- 13. Oktober 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/66H01L21/687
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA - Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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