Process gas preheating systems and methods for double-sided multi-substrate batch processing

WO2016164569 Art A1 13. Oktober 2016

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016164569
Aktenzeichen: EP16777271
Anmeldetag: 7. April 2016
Veröffentlichung: 13. Oktober 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L31/18H01L23/34H01L23/40H01L23/42

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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