Laser irradiation induced surface planarization of polycrystalline silicon films

WO2016164759 Art A1 13. Oktober 2016

Anmelder: The Trustees of Columbia University in the City of New York, Im, James S., Yu, Miao 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016164759
Aktenzeichen: EP16777379
Anmeldetag: 8. April 2016
Veröffentlichung: 13. Oktober 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/20H01L21/302B23K26/0622

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: The Trustees of Columbia University in the City of New York
Im, James S.
Yu, Miao
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Columbia University

Private Forschungsuniversität in New York City, gegründet 1754, mit umfangreicher Patentaktivität in Medizin, Biotechnologie und Ingenieurwissenschaften.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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