Charged particle beam device and evacuation method for same

WO2016166825 Art A1 20. Oktober 2016

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016166825
Aktenzeichen: EP15889163
Anmeldetag: 15. April 2015
Veröffentlichung: 20. Oktober 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/18H01J37/16

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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