Semiconductor manufacturing method and sic substrate

WO2016166939 Art A1 20. Oktober 2016

Anmelder: Fuji Electric Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016166939
Aktenzeichen: EP16779738
Anmeldetag: 25. März 2016
Veröffentlichung: 20. Oktober 2016
Rechtsraum: WO
IPC: C30B29/36H01L21/20H01L21/329H01L29/861H01L29/868

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fuji Electric Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fuji Electric

Japanischer Elektrotechnikkonzern mit Sitz in Tokio, tätig in den Bereichen Leistungshalbleiter, Energieerzeugungsanlagen und industrielle Automatisierungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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