Electric field emitting electron source and production method therefor

WO2016167048 Art A1 20. Oktober 2016

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016167048
Aktenzeichen
EP16779840
Anmeldetag
8. März 2016
Veröffentlichung
20. Oktober 2016
Rechtsraum
WO
IPC
H01J1/304H01J1/30H01J9/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Hitachi High-Technologies Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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