Method for fabricating suspended mems structures
WO2016167853
Art A1
20. Oktober 2016
Anmelder: The Government of the United States of America, as represented by the Secretary of the Navy, Meyer, David, J., Downey, Brian, P. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2016167853
- Aktenzeichen
- EP16780399
- Anmeldetag
- 21. Januar 2016
- Veröffentlichung
- 20. Oktober 2016
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B81C1/00B81B7/00B81B7/02H01L27/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- The Government of the United States of America, as represented by the Secretary of the Navy
Meyer, David, J.
Downey, Brian, P. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
The Government of the United States of America As Represented By the Secretary of the Navy
Dieser Anmelder steht für Patente der US-Marine, angemeldet über die Regierung der Vereinigten Staaten. Das Patentportfolio deckt breit Halbleiterbauelemente, Mess- und Prüftechnik sowie Optik- und Fototechnik für militärische und maritime Forschung ab. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.
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