Method for fabricating suspended mems structures

WO2016167853 Art A1 20. Oktober 2016

Anmelder: The Government of the United States of America, as represented by the Secretary of the Navy, Meyer, David, J., Downey, Brian, P. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016167853
Aktenzeichen
EP16780399
Anmeldetag
21. Januar 2016
Veröffentlichung
20. Oktober 2016
Rechtsraum
WO
IPC
B81C1/00B81B7/00B81B7/02H01L27/04
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
The Government of the United States of America, as represented by the Secretary of the Navy
Meyer, David, J.
Downey, Brian, P.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 The Government of the United States of America As Represented By the Secretary of the Navy

Dieser Anmelder steht für Patente der US-Marine, angemeldet über die Regierung der Vereinigten Staaten. Das Patentportfolio deckt breit Halbleiterbauelemente, Mess- und Prüftechnik sowie Optik- und Fototechnik für militärische und maritime Forschung ab. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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