Transparent conductive substrate, method for producing same, and apparatus for producing transparent conductive substrate

WO2016171097 Art A1 27. Oktober 2016

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016171097
Aktenzeichen
EP16783118
Anmeldetag
18. April 2016
Veröffentlichung
27. Oktober 2016
Rechtsraum
WO
IPC
H01B5/14B32B3/24C23C14/08G06F3/044G09F9/00H01B13/00H05K9/00C23C14/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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