Particulate detection system and particulate detection program

WO2016171198 Art A1 27. Oktober 2016

Anmelder: The University of Tokyo, Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016171198
Aktenzeichen: EP16783219
Anmeldetag: 21. April 2016
Veröffentlichung: 27. Oktober 2016
Rechtsraum: WO
IPC: G01N15/14G01N15/02G01N27/26G01N33/53

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: The University of Tokyo
Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 University of Tokyo

Japanische Universität mit Sitz in Tokio, eine der führenden Forschungsuniversitäten Asiens. Die Universität ist in nahezu allen wissenschaftlichen und technischen Disziplinen aktiv, darunter Materialwissenschaften, Elektrotechnik, Biotechnologie und Medizin.

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🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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