Ion beam irradiation apparatus and ion beam irradiation method

WO2016171262 Art A1 27. Oktober 2016

Anmelder: Nissin Electric Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2016171262
Aktenzeichen
EP16783283
Anmeldetag
22. April 2016
Veröffentlichung
27. Oktober 2016
Rechtsraum
WO
IPC
H01J37/30H01J37/305H01J37/317
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nissin Electric Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nissin Electric

Nissin Electric ist ein japanischer Hersteller elektrischer Anlagen und Halbleiterfertigungsausrüstung mit Sitz in Kyoto. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleitertechnik und Metallurgie, ergänzt durch Schaltungs- und Energietechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2025.

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