Dual Trench Deep Trench-Based Unreleased Mems Resonators

WO2016171772 Art A1 27. Oktober 2016

Anmelder: Massachusetts Institute of Technology 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016171772
Aktenzeichen: EP16783522
Anmeldetag: 11. Januar 2016
Veröffentlichung: 27. Oktober 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H03H3/02H03H3/007H03H9/17

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Massachusetts Institute of Technology
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Massachusetts Institute of Technology

US-amerikanische Universität mit Sitz in Cambridge, Massachusetts, eine der weltweit führenden Forschungseinrichtungen. Aktiv in nahezu allen technischen und naturwissenschaftlichen Feldern, darunter Informatik, Ingenieurwesen, Materialwissenschaften und Biotechnologie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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