Loadlock apparatus, cooling plate assembly, and electronic device processing systems and methods

WO2016171867 Art A1 27. Oktober 2016

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2016171867
Aktenzeichen: EP16783568
Anmeldetag: 31. März 2016
Veröffentlichung: 27. Oktober 2016
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von